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半導體級硅單晶定向設備的原則

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半導體級硅單晶定向設備的原則

發布日期:2018-07-06 11:31 來源:http://www.kqyery.tw 點擊:

  晶體定向的作用,就為了確切地描述和表達構成晶體的晶面、晶棱以及對稱要素在空間的展布方位。正如幾何學中的一樣,我們需要有的規則來給晶體定向,從而體現不同晶系的晶體的各項特征。半導體級硅單晶定向設備晶體定向的作用:晶體定向后就可以對晶體上所有的面、線等進行標定,給出這些面、線的晶體學方向性符號;晶體定向是研究晶體各種物理性質(光學、電學、磁學等)方向性的基礎。那么,藍寶石晶體定向怎么選出X, Y, Z 軸呢?晶體定向就是在晶體上建立一個坐標系,由X, Y, Z 軸組成。X, Y, Z 軸也稱為晶軸或結晶主軸。

晶體定向的原則:

  符合晶體的對稱性,一般都是選擇晶體上的對稱要素(如對稱軸,對稱面的法線)為晶軸;在符合上述原則的基礎上盡量使晶軸夾角等于90°。晶體結構就是由晶胞在三維空間堆跺起來形成的。用來“堆砌”晶體的特殊“磚塊”就是晶胞。晶體定向,就是在晶體中建立一個三維空間坐標系,然后我們需要選擇坐標軸(又稱為晶軸)、確定各晶軸上的單位長(軸長)及其比率(軸率)。晶軸實際上是格子構造中的行列(直線),該行列上的結點間距稱為軸長或軸單位,xyz軸上的軸單位分別以a0、b0和c0表示。只根據晶體外形的宏觀研究是不能確定軸長的,但我們可以根據幾何結晶學的方法可以確定出它們之間的比率a:b:c,這一比率稱為軸率。

  藍寶石偏角定向晶體結構中的任何點都是以格子狀圖形重復排列的,不同的點所形成的格子狀圖形相互穿套在一起,就形成了晶體結構的格子構造。該儀器主要用于測量藍寶石晶棒的端面及參考面的角度,也可以用于測量其他種類晶體材料的晶棒。此型儀器設有兩個工作臺,雙側工作臺可以同時進行操作,樣品臺可根據用戶需要配置。晶片參考邊端面定向儀盡管各種晶體具有不同的結構,原子、離子等排列方式也具有各種不同的規律性,但所有晶體結構共同的本質特點是:質點在三維空間周期性重復排列,即具有格子構造,意指可以用格子狀的圖形來表達。那么,晶體結構里有些什么樣的格子狀圖形呢?我們引入“空間格子”這一概念。


單晶定向

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