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藍寶石晶體定向用KOH進行化學腐蝕

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藍寶石晶體定向用KOH進行化學腐蝕

發布日期:2019-11-18 00:00 來源:http://www.kqyery.tw 點擊:

藍寶石性質穩定,常溫條件下難與酸、堿反應。但在高溫條件下用熔融的KOH會對藍寶石單晶產生化學腐蝕。不同腐蝕時間的腐蝕結果的密度為3.98g/cm3。其化學性能非常穩定,一般不溶于水,不受酸、堿腐蝕。藍寶石的硬度很高,為莫氏硬度9級,僅次于最硬的金剛石。它具有很好的透光性、熱傳導性和電氣絕緣性,力學機械性能好,并且具有耐磨和抗風蝕的特點。其熔點為2050℃,沸點為3500℃,最高工作溫度為1900℃。

為了適應工業化藍寶石晶體定向的需求目前采用人工方法制備藍寶石晶體則成為獲得大直徑、高完整性和按要求晶面生長單晶的主要方法。藍寶石晶體的生長方法主要有:熔焰法Verneuil、提拉法(CZ法)、導膜法(EFG法)、感應溫場上移法(1FUS法)、動態凝固法(DGSM法)、溫梯法(TGT法)、熱交換法(HEM法)等。

半導體晶體的內在質量、晶體缺陷、雜質濃度等直接關系到外延層和器件的質量及成品率。準確地顯示出晶體缺陷、研究其形成機理和控制及消除技術對制備高質量晶體是非常重要的。藍寶石晶體定向主要研究了用化學腐蝕的方法顯示藍寶石單晶的位錯缺陷的條件,為提高晶體質量提供基礎數據。


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