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硅單晶晶棒參考邊端面定向儀

硅單晶晶棒參考邊端面定向儀

  • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2015/11/10
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詳細介紹

硅單晶晶棒參考邊端面定向儀

DX-7B硅單晶晶棒參考邊、端面定向儀(7BC7BS7BZ)

功能:此型儀器主要用于硅單晶錠的定向,也可用于其它種單晶錠(棒)的端面定向。

DX-7B型:手動上下樣品。手動測量尋峰。

DX-7BC型:具有實測角度顯示、差值角度顯示功能。(差值:實際測量值與標準角度的差值)

DX-7BS型:具有實測角度顯示、差值顯示及數據導出功能。(客戶自備電腦)

DX-7BZ型:具有自動測量、實測角度顯示、差值顯示、數據導出功能。(客戶自備電腦)

技術參數:

項目

參     

輸入電源

單相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管電壓

30kV

管電流

0-5mA連續可調

接收器

蓋革計數器,工作電壓最高為DC1050V

X射線管

銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

測定角度

2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

綜合精度

±30″(用標準石英片10ī1面測量)

最小讀數

1

外形尺寸

1132(長)×642(寬)×1200(高)mm

儀器重量

300kg

 


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