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硅單晶錠粘結儀

硅單晶錠粘結儀

  • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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  • 發布日期:2015/11/10
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詳細介紹

硅單晶錠粘結儀

DX-7CF硅單晶錠復檢儀

功能:此型儀器專門用于硅單晶錠定向、粘結后復檢。待測晶錠在我公司的DX-7C型X射線定向儀定向,在DX-7CZ型粘料儀上粘結后,最終在本儀器上復檢,和多線切割機配套使用。

特點:此儀器具有一個工作臺,工作臺上有托板和料板(工件板)的定位、夾緊裝置。晶錠與墊條(石墨/玻璃/樹脂)、料板粘結后一起裝在上述裝置定位夾緊,其端面在x射線照射下進行復檢,每個料板只可復檢兩塊晶錠。

技術參數:

項目

參     

輸入電源

單相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管電壓

30kV

管電流

0-5mA連續可調

接收器

蓋革計數器,工作電壓最高為DC1050V。

X射線管

銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

外形尺寸

1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

儀器重量

300kg

晶錠直徑

5-8英寸

晶錠最大長度

500mm

測定晶面

111向、100向

定向精度

±30"(用標準石英片10ī1面測量)

最小讀數

1"

晶錠轉角(&)

±10°

料板最大長度

500mm

料板寬度

70mm、100mm


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